光応用検査装置インラインバンプ検査装置 Index Type CVIシリーズ CVI-S10210-RA
CVI-RAシリーズは、個片状態のパッケージ基板をIndexへ移載しながら、計測するインライン基板バンプ検査装置です。
特長
CVIシリーズは、個片状態のパッケージ基板をインデックスへ移載して計測するインラインバンプ検査装置です。
インデックスタイプのため外来ノイズの影響を受けにくく、高精度検査性能を保ちながら、高速で個片基板検査が可能です。
バンプ形状は、ラウンド、フラッタニングどちらも計測可能です。
製品説明
定格仕様表
| 主な測定項目 | Bump Height Bump Coplanarity Bump Diameter |
|---|---|
| 有効視野領域 | 15.0mm x 15.0mm |
| Z計測範囲 | 300μm |
| XY分解能 | 3.0μm |
| バンプ径(最小) | 25μm |
| バンプピッチ | 55μm |
| 計測繰返精度(高さ) | 3σ ave. + 3σ3σ ≦ 2μm |
| 装置サイズ | (W)1,800mm x (D)2,900mm x (H)1,800mm |
| 基本供給、収納方法 | JEDECトレー |
検査項目/応用例
MPUサブストレートなどの個片基板バンプ高さ、基板反り、コプラナリティ検査
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