光応用検査装置汎用三次元検査装置 FVIシリーズ
多種多様な製品の高さ、コプラナリティ、深さを高速・高精度に測定検査する装置です。製品開発から少量産対応が可能です。
特長
高さ繰り返し精度(3σ ave. 1μm以下)
検査対象物にあわせ、ステージ及びセンサを変更できます。
鳥瞰図・断面図を簡単表示できます。
KNタイプ(Z軸変位方式)では、計測レンジ5mmまで対応可能です。
製品説明
定格仕様表
| 主な測定項目 | Bump Height Bump Coplanarity Bump Diameter |
|---|---|
| 有効視野領域 | 6.0mm×6.0mm |
| 処理速度 | ワークによりご提示 |
| Z計測範囲 | 80 ～ 5,000μm |
| XY分解能 | 7.8μm |
| バンプ径 | ≧60μm |
| バンプピッチ | ≧100μm |
| 計測繰返精度(高さ) | 3σ ave. ≦ 1μm |
| 装置サイズ | (W)900mm×(D)1,100mm×(H)1,850mm |
検査項目/応用例
Bump Height, Bump Coplanarity, Bump Diameter
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