光応用検査装置インラインバンプ検査装置 EVIシリーズ
EVIシリーズは、JEDECトレイで搬送された次世代基板を治具上へ移載し、高精度・高速計測を実現したインラインバンプ検査装置です。
特長
EVIシリーズは、2シャトル方式のワーク搬送やZ計測範囲を最適化するシステムを採用したインラインバンプ検査装置です。
バンプ形状は、ラウンド、フラッタニングどちらも計測可能です。
製品説明
定格仕様表
| 主な測定項目 | Bump Height Bump Coplanarity Bump Diameter |
|
|---|---|---|
| S10210 | S10220 | |
| 有効視野領域 | 15mm×15mm | 15mm×15mm |
| Z計測範囲 | 300μm | 300μm |
| XY分解能 | 3.0μm | 2.1μm |
| バンプ径（最小） | 25μm | 18μm |
| バンプピッチ | 55μm | 36μm |
| 計測繰返精度(高さ) | 3σ AVE. + 3σ 3σ ≦ 2μm | |
| 装置サイズ | (W)2,560mm×(D)2,715mm×(H)1,945mm | |
検査項目/応用例
MPUサブストレートなどの個片基板バンプ高さ、基板反り、コプラナリティ検査
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